二手 LAM RESEARCH IGS #9157989 待售

LAM RESEARCH IGS（電離氣源）是晶圓製造過程中使用的專門蝕刻/剝離工具。用於從晶片表面蝕刻和剝離多層薄膜。這款蝕刻器/asher是一款高密度等離子體（HDP）工具，與其他設備相比以獨特的方式運行。該工藝利用等離子體和蒸氣相技術實現超低壓和超高密蝕刻。IGS由主反應室和氣相反應室兩個主腔室組成。主反應室，系統的心臟，包含一種在高壓下引入腔室的過程氣體。這種壓力指向底物底部，使離子與蝕刻抗蝕劑和底層材料反應，形成濺射殘留物。該反應完成後，腔室上部再用惰性載氣清洗，除去任何揮發性蝕刻產物。氣相反應室用於剝離薄膜。在該腔室中，在高溫下引入工藝氣體，導致抗蝕劑汽化並從基板表面除去。采用先進的溫度和氣流控制系統優化了特定薄膜類型的去除工藝。LAM RESEARCH IGS能夠實現極高的蝕刻速率、低離子蝕刻選擇性、高蝕刻均勻性和高工藝穩定性。此外，蝕刻速率可以控制到非常精確的程度，以便使成像和光刻精確。由於其先進的特性，如集成洗滌器，IGS還結合了高吞吐量和卓越的安全標準。總之，LAM RESEARCH IGS是一種用途廣泛、精度高、效率高的蝕刻/剝離工具。利用先進的工藝控制功能，該蝕刻器非常適合晶圓制造工藝的苛刻需求。