二手 LAM RESEARCH IGS #9157990 待售

LAM RESEARCH IGS（感應耦合等離子體反應性離子蝕刻器/Asher）是為半導體工業應用而設計的先進蝕刻設備。它基於專用的LAM脈沖等離子體反應性離子蝕刻（PPP-RIE）技術，允許快速、高精度的蝕刻過程，而無需額外的危險材料。IGS 蝕刻器/asher具有完全封閉的腔室，並允許用戶利用廣泛的蝕刻過程，同時實現精確的速度、深度和橫向控制。LAM RESEARCH IGS系統利用穩健的動力平臺，產生無電極感應耦合等離子體（ICP）反應室。這款高壓發電機具有主動電磁和可調節的電壓和電流水平，可精確控制等離子體層。它產生一個低溫、高密度的等離子體層，使得蝕刻時間比傳統蝕刻工藝所能達到的快。IGS單元包括一些連接到氣體分配底盤的獨立氣源。然後將這些氣體混合，然後送入腔室，允許同時進行多次蝕刻過程。LAM RESEARCH IGS機的另一個特點是集成優化工具，它允許實時的過程優化。優化資產使用位於蝕刻室和加工硬件中的各種傳感器，以及專門的軟件來持續監控蝕刻過程。這種緊密集成的模型有助於確保蝕刻和灰化操作按預期進行,並允許用戶根據需要進行校正調整。多功能IGS 蝕刻器/asher非常適合廣泛的應用，如MEMS、MEMS傳感器、納米技術、微型制造、生物醫學設備、光電、微機電系統（MEMS）、微電路和其他特殊應用。憑借先進的特點和能力，它是半導體行業首屈一指的蝕刻設備。