二手 LAM RESEARCH IGS #9157991 待售

LAM RESEARCH IGS是一種用於制造微小型和納米級集成電路的蝕刻器和asher。它是一種多功能蝕刻器，設計用於在單個工具中蝕刻、清潔、濺射、沈積和粉刷晶片。IGS具有高蝕刻精度和均勻性、低顆粒水平、光學循環監測等先進特性。LAM RESEARCH IGS在真空室中運行，使蝕刻器能夠控制蝕刻循環的端點並提高均勻性。IGS蝕刻器能夠提供高達5,000 sccm的蝕刻氣流。ICP濺射源用於將金屬薄膜沈積到晶圓表面上，形成互連結構。濺射源允許沈積在鋁、鈦、銅和金等多種材料上。LAM RESEARCH IGS裝有單晶片灰化室，蝕刻後用於除去光致抗蝕劑。晶圓加載到灰燼室中，然後暴露在高溫等離子體灰燼中。這個過程除去了光刻膠，允許高精度蝕刻。IGS旨在提供精確的蝕刻和灰化過程控制。蝕刻器軟件具有配方編輯器，允許用戶指定蝕刻參數，如氣體混合物、壓力、溫度和其他工藝參數。集成了一個實時過程監控系統，以測量能夠實現過程優化的蝕刻和灰化過程參數。LAM RESEARCH IGS具有多種安全功能和硬件控制器，以確保過程的準確性和安全性。這些功能提供了流程保護模式、緊急停止按鈕和錯誤警報,可防止對系統和晶圓造成任何損壞。IGS緊湊,集成了一個小的腳印,便於在任何實驗室環境中安裝和使用。總體而言，LAM RESEARCH IGS是一款先進的蝕刻機，具有精密蝕刻和灰化、減少顆粒和獲得高通量的功能。IGS配備了眾多的安全特性和儀器，確保晶圓的完整性和工藝的準確性。它是制造微小型和納米級集成電路的理想工具。