二手 LAM RESEARCH Inova next #9144982 待售

LAM RESEARCH Inova接下來是用於半導體器件制造的先進蝕刻器/asher。它是一種電化學蝕刻技術，允許精確控制蝕刻過程，使得復雜的垂直結構得以制造。它是器件制造中蝕刻介電層、金屬軌跡和先進微米級結構的經濟高效、可靠的解決方案。接下來，Inova具有廣泛的蝕刻工藝，包括濕化學、流蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）和先進的各向異性蝕刻技術。蝕刻器可以處理直徑達150毫米的晶片。它具有特殊的環形高縱橫比腔室，為深微米級結構提供了優化的蝕刻性能。接下來,LAM RESEARCH Inova提供了一個易於使用的軟件套件,用於蝕刻過程控制和配方開發。它保持了良好的重復性和均勻性的蝕刻結果，並提供了最佳的蝕刻溫度。該軟件還支持半導體工藝控制，如溫度映射、壓力調節、氣流以及對進料速率和材料的監測。蝕刻器/asher有一個精密的光學系統，允許快速調諧和高分辨率成像的蝕刻結果。它配備了精確的剖析系統，以監測蝕刻深度和結構寬度，允許優化蝕刻結果。接下來是用戶友好和可靠的Inova。該系統具有多種安全特性，符合現行環境法規。蝕刻器/asher能夠處理各種材料,使芯片制造商能夠以高通量開發復雜的結構。LAM RESEARCH Inova接下來是專門為芯片制造而設計的先進可靠的蝕刻器/asher。它具有強大的工藝控制和先進的蝕刻技術，以產生高質量的結構精度和均勻性。該系統方便用戶，成本效益高，符合最新的環境法規。