二手 LAM RESEARCH Inova #293610305 待售

LAM RESEARCH Inova是一種高度先進的蝕刻器/asher，用於關鍵蝕刻和幹燥過程。該設備非常適合半導體工業中先進的晶圓加工。其集成設計能夠提供卓越的性能，高吞吐量和卓越的質量控制。Inova擁有強大的IGI電源控制系統和強大的加熱和冷卻元件,可提供精確的溫度和電源控制。該裝置能夠控制壓力、反應時間和溫度等工藝參數，以確保均勻的蝕刻速率和優越的工藝一致性。集成設計還包括一個高度精確的質量流控制器，用於精確測量蝕刻過程中使用的臨界前體氣體，提供了一個精度，從而提高了工藝產量。除了先進的氣體控制能力外，LAM RESEARCH Inova還提供先進的材料選擇和清潔控制。其先進的氣體清潔度模塊提供無顆粒的工藝氣體，確保原始的蝕刻環境和可靠的蝕刻先進的基材。機器還提供了從各種材料中選擇基材的能力，允許用戶為不同的設備應用自定義過程。Inova得到了廣泛的軟件包的支持,這些軟件包旨在提供流程智能、啟用數據日誌記錄以及方便配方設置和修訂。其直觀的人機界面（HMI）設計方便，確保用戶跟上所有的工具活動。LAM RESEARCH Inova還提供自動化過程控制（APC）資產,提供實時過程監控、嚴格的過程控制以及用於過程優化的寶貴信息。除了擁有集成的高效設計外，Inova在能耗方面也極具效率。這一模型的效率進一步提高，其通用的排氣設計使用戶能夠定制其環境足跡以滿足他們的需求。LAM RESEARCH Inova還設計為維護友好,減少停機時間並提高可靠性。除了令人印象深刻的能力，伊諾娃也極為實惠。其強大的設計和先進的功能使其成為任何半導體蝕刻和灰化工藝的經濟高效的解決方案。LAM RESEARCH Inova憑借其集成的設計、先進的工藝控制和成本效益，是半導體行業蝕刻和灰化工藝的理想選擇。