二手 LAM RESEARCH Inova #293610306 待售

LAM RESEARCH Inova是一個模塊化的蝕刻/灰化系統，設計用於特定的蝕刻和灰化過程。它是一個超穩定的平臺，可以超越所有標準蝕刻工藝，並提供優化的精度。Inova提供最佳的蝕刻深度、更好的分辨率和最小化的汙染,提供可靠和持久的性能。LAM RESEARCH Inova配備了兩個200 sccm的高性能氣源（He、Ar、N2和O2）、兩個石英反應室和兩個自動化的樣品支架，允許在放置樣品時充分靈活。它還具有可靠的水源清潔能力，具有集成的高流量水浴，有助於減少對化學溶劑的需求。Inova具有創新的蝕刻預測控制器和軟件,可提高蝕刻控制的準確性和靈活性。蝕刻預測控制器連續監控蝕刻速率，並調整工藝參數以提高精度。這樣可以提高產量，減少廢物和基材的損害。標準的LAM RESEARCH Inova模塊還具有多觸發系統，允許在一個周期內激活多達五個獨立的蝕刻過程。這使得它非常適合需要高吞吐量的復雜蝕刻/灰化應用。可選的準直離子束輔助（CIBA）功能可對時間臨界樣品分析過程（SAP）的離子通量進行卓越控制。除了先進的蝕刻技術外，Inova還提供全面的安全功能。這些包括聲學櫃子、離子陷阱、離子室以及多個進排氣法蘭等特性，有助於保持系統在運行過程中的清潔和安全。總體而言,LAM RESEARCH Inova在蝕刻和灰化方面提供了無與倫比的性能。憑借其先進的蝕刻預測控制器和全面的安全功能,Inova使用戶能夠創建獨特的蝕刻/灰化解決方案來滿足他們的特定需求。