二手 LAM RESEARCH Inova #293610307 待售

LAM RESEARCH Inova是由LAM RESEARCH Corporation開發的高級蝕刻器/asher。這種最先進的蝕刻器/asher旨在提供高吞吐量、精確度和可靠性。Inova的先進能力包括低壓基板蝕刻產生低熱預算蝕刻剖面、高密度等離子體（HDP）蝕刻實現優越的蝕刻選擇性、總晶片表面覆蓋蝕刻確保精密的表面修改。LAM RESEARCH Inova的設計考慮到靈活性，允許為各種應用設置廣泛的蝕刻參數。這包括調整氣體混合比的能力，以及調整壓力、功率和溫度，以達到所需的蝕刻性能。此外，Inova的高級軟件控制包允許用戶定制和優化蝕刻過程，以及實時監控和分析蝕刻結果。LAM RESEARCH Inova支持批量和單片加工，能夠進行330mm晶圓加工。蝕刻室采用液氮冷卻，確保均勻蝕刻工藝，為均勻剖面提供優越的冷卻效果。它還設有一個帶有自動壓力控制系統的壓力控制蝕刻室，旨在保持穩定的蝕刻環境。此外，Inova還配備了先進的遠程診斷系統，提供增強的遠程支持。LAM RESEARCH Inova在氧化物剝離、光刻蝕刻和硬面膜蝕刻等蝕刻應用方面提供優異的性能。此外，它還設計用來蝕刻各種材料，以及容納不同的薄膜堆棧。這使得Inova成為半導體、MEMS和MEMC行業各種蝕刻應用的理想選擇。綜上所述，LAM RESEARCH Inova是一款先進的蝕刻/asher，專為快速、精確和可靠的蝕刻性能而設計。這種精密的蝕刻工具是全封閉的，提供受控蝕刻環境，並配有高級軟件控制軟件包，用於定制性能。此外，它支持批量和單片加工，能夠進行330mm晶片加工，使其成為各行業蝕刻應用的絕佳選擇。