二手 LAM RESEARCH Inova #293610308 待售

LAM RESEARCH Inova是一款具有高通量、精密工藝控制的先進蝕刻和灰化設備。它是市場上最新的設備，在進行蝕刻和灰化工藝時提供了最高的準確性和可靠性。Inova系統旨在處理各種蝕刻和灰燼處理任務。它采用先進的超高速濺射蝕刻/灰化機構進行設計,使其能夠以比任何其他市售蝕刻器/灰化裝置更高的跨步和分辨率提供優質蝕刻和任意灰分特征寬度。此功能使LAM RESEARCH Inova具有高度的過程控制和可重復性,非常適合半導體制造應用。該機器提供各種工藝選項,包括蝕刻、機械化蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）。它還具有先進的等離子體增強型化學蝕刻（PECE）功能,允許在工藝條件下具有更大的靈活性,並允許隨時間進行調整（即使腔室處於真空狀態）。Inova還具有廣泛的可自定義功能,例如Adaptive Process Control （APC）、Advanced Profile Control （APC）和Adaptive Profile Control （APC）技術。這些功能允許用戶即時更改其流程順序,並根據其要求調整流程參數。此外,LAM RESEARCH Inova還配備了自動配方加載工具,通過將用戶提供的配方加載到控制器中,用戶可以輕松地從一個流程過渡到另一個流程。這樣可以提高吞吐量,減少對操作員幹預的需求。Inova還擁有豐富的蝕刻食譜庫,包括定制的解決方案,以及自己的內部食譜,使用戶能夠輕松實現所需的蝕刻和灰化條件。此外,LAM RESEARCH Inova憑借其直觀易用的界面和用戶友好的圖形用戶界面,提供了一種簡單明了的過程控制方法-即使操作經驗有限。Inova是用於蝕刻和灰化的強大工具,為用戶提供最高級別的過程控制和靈活性。LAM RESEARCH Inova以其堅固可靠的設計，是各種半導體應用的理想解決方案。