二手 LAM RESEARCH Inova #293662993 待售

LAM RESEARCH Inova是一款蝕刻器/asher，旨在為陶瓷、聚合物基板和玻璃提供高效、精確的蝕刻。Inova是晶圓稀釋、介電層蝕刻、激光鉆孔、反應性離子蝕刻（RIE）等應用的領先幹蝕刻機。它設計用於處理各種晶圓尺寸，從200毫米到150毫米，從2英寸到6英寸。LAM RESEARCH Inova旨在提供對蝕刻速率的精確控制,並在高級蝕刻工藝中提供更高的產量。伊諾娃是一位具有工業水平能力的高級蝕刻師。LAM RESEARCH Inova可以為各種流程配備多種不同的工具。它采用全自動機器人系統來處理晶片。它還包括一個等離子體源模塊，以實現高速率蝕刻。Inova還能夠與其他工具組件集成，如步進電機、金屬主軸，以及一些不同的成像和計量系統。LAM RESEARCH Inova在整個蝕刻過程中提供精確的溫度控制和壓力控制。這有助於確保準確的蝕刻結果。此外，Inova還提供全方位的工藝氣體控制。這種氣譜控制為許多不同的應用提供了靈活性。LAM RESEARCH Inova也被設計成在處理基材和工藝汙染時堅固。Inova包括可選的高精度裝卸站，允許快速周轉時間。還可以對LAM RESEARCH Inova進行自動化和遠程監控，以確保蝕刻過程的質量和可靠性。蝕刻器還可用於半導體制造、MEMS制造和太陽能電池制造等一系列應用和行業。Inova是一種高級工具,它為許多蝕刻過程提供一致且可重復的性能。這種可靠、準確的機器旨在確保更高的產量率和更好的效果。此外,LAM RESEARCH Inova是一個提供靈活性和控制性的多合一蝕刻系統。這些功能使Inova成為各種應用程序的理想工具。