二手 LAM RESEARCH Inova #9315044 待售

LAM RESEARCH Inova 蝕刻器/asher是一種先進的、多配置的蝕刻器/asher設備，用於對矽、玻璃和金屬薄膜等多種基材進行平面化和蝕刻。該系統配備了最先進的自動化、所有基本參數的計算機控制以及用戶友好的功能，以確保高效、獨立的運行。Inova設計用於執行離子束濺射（IBS）、反應性離子蝕刻（RIE）、深矽蝕刻（DSE）、熱處理（TP）等蝕刻操作。利用它的多功能腔室，該單元還可以提供各種蝕刻型材，如果需要，以及結果是優秀的晶片對晶片的均勻性和精度。此外,該機器的設計允許多種基板配置進行精確和快速的蝕刻,從而提供高度一致的結果,而不考慮所需的特定配置。LAM RESEARCH Inova的最先進軟件允許用戶單獨控制每個流程，提高關鍵參數穩定性。該工具還提供先進的溫度控制室、精確的光學控制以及集成的支持和維護資產,以確保最佳性能。設計了Inova的腔室,並對其進行了真空密封,以獲得最佳的工藝可重復性和穩定性。蝕刻器/asher還包括實時可視化和數據采集功能,使用戶能夠做出更好的過程和設備決策。其集成的光學端點模型允許用戶監控深度、角度和臨界尺寸，以獲得準確的端點。LAM RESEARCH Inova的可編程面板顯示屏具有直觀的用戶界面,增強了用戶對蝕刻過程的控制和靈活性,提供了快速設置、視頻圖像分析以及高級數據管理和安全功能。該設備還具有集成的多工具功能，允許用戶根據個別工藝條件和基板配置選擇最佳蝕刻速率、功率、溫度和冷卻。伊諾娃的安全功能包括全天候跟蹤過程活動、實時安全報警監控、靜電放電保護，以確保人員在操作過程中的安全。最後，LAM RESEARCH Inova 蝕刻器/asher提供了一種先進的多配置系統，用於蝕刻和平面化各種基板。它提供了過程控制、可重復性、安全功能以及實時可視化和數據采集功能,使用戶能夠實現最佳性能、精度和一致性。