二手 LAM RESEARCH Isotropic chambers for 4520i #9352909 待售

LAM RESEARCH 4520i各向同性室設計用於各種蝕刻和灰化應用。該設備在有機和氧化物灰化和蝕刻過程中提供了無與倫比的可靠性、靈活性和性能。4520i通過其先進的控制系統,提供了與傳統系統相比一致的過程重復性、卓越的一致性和極其高效的蝕刻一致性。作為一個全面的蝕刻系統，腔室還提供卓越的側壁特點，以及卓越的吞吐量。4520i腔室采用半自動配置,可為用戶帶來所有最基本的功能。該腔室的尺寸大約是標準200毫米濕式工作臺的兩倍，並配備了一整套創新功能，包括可編程的頻率泵送和通用滑架。此外，工藝室設計采用密封的歐洲噴氣真空裝置，為某些蝕刻工藝提供高達5微米的基本壓力。4520i的高級控制系統能夠精確控制整個過程。用戶界面專為直觀操作而設計,便於設置和參數修改。該機還配備了包括130多種食譜在內的綜合食譜庫；所有這些都可以修改以適應特定的工藝參數。此外,4520i允許用戶在蝕刻或灰化過程中實時監視參數,以確保過程穩定性和過程一致性。4520i以其先進的腔室設計設計最大限度地提高吞吐量。蝕刻或灰化工藝需要較低的工藝負載，從而為腔室邊緣的晶片留出更多空間。該腔室還提供了增強的晶片對晶片均勻性和更大的吞吐量，由於其開放的設計。由於其嵌入式功能,該工具可配置最多15分鐘和最低3分鐘的處理時間。這使得它適用於包括低成本試運行和生產批次在內的廣泛應用。4520i各向同性腔室的半自動設計使其成為需要可靠、可重復和精確工藝性能的蝕刻或灰化工藝的絕佳選擇。由於其先進的控制系統,它提供了一致的蝕刻速率和卓越的吞吐量。此外,此資產具有極大的靈活性,可以輕松定制以適應特定的流程要求。