二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #293630220 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款高級蝕刻/asher工具，旨在提供高吞吐量、低維護和經濟高效的材料處理。其獨特的雙室架構使工具能夠提供低成本的每批蝕刻和asher工藝。雙室結構允許獨立的氣體處理，從而實現同時蝕刻和灰化功能或獨立的晶圓處理。強大的源級脈沖電子和過程控制軟件能夠在嚴格的過程邊距下精確控制蝕刻和灰度參數。Kiyo EX提供了首屈一指的高吞吐量、統一性和可重復性。其3-4晶片/分鐘的高輸出率和高達300 mm的可加工晶片尺寸在業界是無與倫比的。雙腔室架構允許與上遊或下遊的其他工具組隊，用於晶圓處理和或非常復雜的過程。源級脈沖電子實現了精密的過程控制，具有配方的可追蹤性和準確的過程模擬。控制器由Windows CE操作設備提供動力,具有專用的圖形界面,可控制各種參數,設置配方參數,包括氣體類型、腔室壓力、晶圓速度、晶圓溫度和其他過程變量。LAM RESEARCH Kiyo EX還具有先進的安全和環境保護功能，如主動清洗系統，以確保高工藝安全性。其先進的監測和控制系統具有一個自我診斷單元，該單元檢查以確保機器合規性，並內置用於氣體處理的安全聯鎖開關。主動沖洗能力與低級排氣流量控制工具相結合，有助於保持敏感過程如LEF和鈍化的安全環境。總體而言,Kiyo EX提供了卓越的功能,可實現經濟高效的高吞吐量蝕刻和降低流程。其雙腔室架構、先進的過程控制和安全特性使其成為蝕刻和粉刷應用的首選。它具有廣泛的應用範圍,是滿足任何工業或研究材料加工要求的理想工具。