二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #293824451 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款高性能的下一代蝕刻器，專為先進的設備制造應用而設計。它基本上可以蝕刻任何類型的材料，如矽、玻璃和金屬，尺寸不超過1微米。該設備具有最先進的多區域等離子體源和壓控無角蝕刻（PCKE）腔室，用於精確的蝕刻控制和工藝重復性。這種下一代蝕刻器利用自我優化的等離子體源，最大限度地減少晶圓陣列性能中的非均勻性，實現更快的吞吐量。該系統采用新穎、高密度、感應耦合等離子體（ICP）源以及優化的磁場來控制蝕刻過程。該單元配備了空間能力，以適應具有多種磁場配置的重叠或雙波長輻射源，在蝕刻性能和高密度DRAM層的整合方面提供靈活性。其改進的自動化現場端點檢測機器有助於確保在幾乎任何基板上精確和可重復的地形蝕刻。KiyoEX的其他一些特性包括一個新穎的移位流蝕刻室（SFEC）以提高蝕刻均勻性，以及一個查找表（LUT）過程控制以快速準確的過程重復性。此外，該工具還可以配置多種不同的工藝，如等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）、原子層沈積（ALD）和濺射，確保與各種應用完全兼容。資產上的蝕刻室采用高溫不銹鋼建造，脈沖直流供電單元設計為減少諧波失真，最大限度提高功率效率。LAM RESEARCH Kiyo EX是各種先進設備制造工藝的完美解決方案。憑借其高效可靠的性能,Kiyo EX推動了最高的產量和最低的總擁有成本（TCO）。為了提供無與倫比的性能,LAM RESEARCH Kiyo EX是先進設備制造商的可靠蝕刻解決方案。