二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #9270879 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一款針對半導體行業量身定制的蝕刻器/asher。它是一種高性能的工具，能夠在絕緣體（SoI）晶片上蝕刻和灰化各種材料如矽、砷化氙和矽時取得優異的效果。它配備了功能強大且用戶友好的控制器,在控制蝕刻和灰燼過程方面具有完全的靈活性。工藝參數是可調的，提供了高度的精度和精確度。它也是低k和III-V器件制造的理想選擇。Kiyo EX由強大的等離子體源、蝕刻室和晶圓映射表等幾個子系統組成。等離子體源提供可靠、均勻和有效的金屬離子傳遞，並負責在晶圓表面進行均勻蝕刻。蝕刻室由淋浴頭、循環泵和排斥運輸等幾個部件組成。該蝕刻室設計為提供均勻的深度和層狀蝕刻。晶圓映射表用於定位和對齊要蝕刻的晶圓。這確保了蝕刻過程的精確度和可重復性。LAM RESEARCH Kiyo EX提供多種蝕刻化學，例如基於HF的化學、Cl2-based化學和基於HBr的化學，以及各種背景氣體，以方便均勻蝕刻。它還配備了多個等離子體發生器，可以將離子和能量精確地沈積到晶圓表面上。Kiyo EX擁有一系列配件和附加模塊，使其成為高級蝕刻和灰化操作的完美工具。它是一種高度通用的工具，能夠處理直徑從2英寸到200毫米不等的基板。LAM RESEARCH Kiyo EX還具有多種安全功能，如互鎖和氣體感應，可保護工具免受任何潛在損壞。適合各行業批量蝕刻和灰化操作，適用於行業標準蝕刻和灰化應用。KiyoEX具有多功能性和精確度,是任何蝕刻和灰化工藝的完美工具。