二手 LAM RESEARCH Kiyo EX #9358698 待售

LAM RESEARCH Kiyo EX是一種緊湊、獨立的蝕刻解決方案,非常適合廣泛的工業、學術和研究應用。該系統的主要特點是其精密、高速的操作,提供精確的過程控制和可重復性,使用戶能夠獲得可重復和可靠的結果。Kiyo EX蝕刻器設計為用戶友好，具有大型液晶顯示屏、直觀用戶界面、高級溫度和電離控制、厚度和蝕刻速率測量等直觀操作特性。蝕刻機還設有一個大腔室，用於容納最大基板尺寸為250毫米x 250毫米的大型基板。內置的樣品真空卡盤允許處理大型基板，以提高精度。LAM RESEARCH Kiyo EX蝕刻機利用多種氣體混合物等工藝參數，提供最佳效果。它配備了一個車載氣體混合器，以管理精確配制的氣體混合物的產生和輸送，並允許用戶對各種專門的蝕刻技術采用多種工藝步驟。Kiyo EX通過自動調平蝕刻介質、壓力和溫度控制、精確控制電離和工藝參數、高度精確測量蝕刻速率以及測量基材和產品厚度等特點，對整個蝕刻過程進行了高度控制。LAM RESEARCH Kiyo EX蝕刻器可采用多種蝕刻技術，包括深矽蝕刻、廣域圖樣矽蝕刻、表面合金蝕刻和超清潔蝕刻。蝕刻器還支持多種單晶片技術，包括等離子體蝕刻、準分子激光圖樣和掩模輔助蝕刻。Kiyo EX還為回收耗費的蝕刻劑提供了具有專利的晶圓盒回收系統的具有成本效益的化學品使用。該系統避免丟棄使用過的蝕刻介質,從而降低了成本並提高了生產效率。LAM RESEARCH Kiyo EX還提供延長保修,以提供更高的省心和可靠性。Kiyo EX憑借其全面的功能清單，是各行業蝕刻和清潔應用的理想解決方案。