二手 LAM RESEARCH Kiyo EXP #293642656 待售

LAM RESEARCH Kiyo EXP是一款利用高密度等離子體技術在生產環境中提供卓越等離子體蝕刻性能的蝕刻/asher。該裝置利用四個具有廣泛等離子體蝕刻範圍的射頻源，可以精確靈活地蝕刻各種材料，包括Si、SiO2、SiN、SiON、GaN、UV等。該裝置還具有精密等離子體清洗和沈積的能力，非常適合許多生產和研發應用。KiyoEXP的等離子體蝕刻工藝快速、準確，對材料蝕刻速率和特征地形控制良好。這種高精度的蝕刻能夠精確控制深度微米特征。此外，LAM RESEARCH Kiyo EXP配備了在整個晶片表面均勻分布蝕刻氣體的先進設備，提供均勻的蝕刻速率和特征側壁角。Kiyo EXP的高級自動化確保將過程、材料和參數的正確組合用於蝕刻或清潔步驟。可以為每個過程存儲不同的程序、配方和預定義的參數，可以根據需要進行召回和使用。該設備還具有數字I/O、自動調諧和晶圓重新定向等附加功能。LAM RESEARCH Kiyo EXP上的自動自診斷監控系統不斷檢查單元健康狀況和運行狀態，允許實時流程優化。該計算機還使用戶能夠通過以太網協議服務器通過安全的以太網遠程訪問數據。總而言之，Kiyo EXP是一個可靠高效的蝕刻/ashging平臺，非常適合生產和研究應用。LAM RESEARCH Kiyo EXP具有高精度蝕刻功能、靈活性、安全的遠程數據訪問和自動健康監控功能,是市場上首屈一指的等離子體蝕刻/灰燼系統之一。