二手 LAM RESEARCH Kiyo EXP #9311228 待售

LAM RESEARCH Kiyo EXP是專門用於半導體加工的蝕刻器/asher。它是一個單晶圓蝕刻/灰化系統，旨在為復雜的超小型工藝幾何形狀提供對工藝氣體的精確控制和快速吞吐量。Kiyo EXP具有高吞吐量，最大容量為每小時150個晶圓。其先進的設計最大限度地減少了氣流湍流和化學殘留物，實現了可重復的工藝產量。LAM RESEARCH Kiyo EXP擁有專利的低流量反應性增強蝕刻（REE）工藝，能達到200 nm/min左右的蝕刻速度。它提供了比傳統蝕刻技術更高的選擇性，最大限度地減少了重新沈積，使沈積物的清除不會過度蝕刻，並提高了產量。Kiyo EXP與有機和無機蝕刻工藝兼容，包括深RIE（反應性離子蝕刻）、幹蝕刻、濕蝕刻。其高蝕刻速率和選擇性使其非常適合蝕刻SiO2、SiNx和SiOC。它還能夠用於內存和邏輯設備應用的高長寬比蝕刻和各向異性圖樣。LAM RESEARCH Kiyo EXP的化學操作範圍為12英寸汞柱（mm/Hg）至1000 mm/Hg，溫度範圍為-25°C至+400°C。它有一個可選的板載質量流量控制器（MFC），用於精確控制氣體，以及一個惰性氣體控制系統，用於在400°C以上的溫度下操作氣體化學。Kiyo EXP還有一個高功率射頻發生器，可以提供高達2000瓦的功率，用於蝕刻過程。LAM RESEARCH Kiyo EXP是一種可靠、精確的單晶圓蝕刻器/灰化器,非常適合需要精確蝕刻、高通量以及一系列溫度和化學氣氛的半導體制造工藝。其獲得專利的REE工藝提供了比傳統蝕刻技術更高的選擇性，這有助於提高設備產量和提高工藝的可重復性。