二手 LAM RESEARCH KIYO FX STRIP #9311232 待售

LAM RESEARCH KIYO FX STRIP是一款先進的蝕刻/灰分32位設備,在很小的占地面積內提供精密蝕刻/灰分處理,因此非常適合大批量生產啟用應用。KIYO FX STRIP是一個靈活的平臺,旨在滿足與深蝕刻和淺灰應用以及介電蝕刻和BEOL工藝相關的不斷增長的需求。它提供了最大的吞吐量和配方能力,可用於各種多層蝕刻和灰燼調度以及高級流程,以適應與集成設備結構關聯的嚴格公差。它采用可擴展的配方數據庫，結合了LAM SEMI-ES7的計算機設備控制系統和先進的真空系統技術以及過程控制能力。LAM RESEARCH KIYO FX STRIP還具有先進的工藝附件陣列，包括自動化工藝端點檢測器、自動區域電源控制、可編程工藝時間控制以及自動晶圓清洗能力。低壓電源確保了在低壓下的精密蝕刻，防止蝕刻過程出現不規則性。再者，這個單元與一系列晶圓尺寸兼容，它有一個模塊化的平臺，可以適應各種應用。KIYO FX STRIP具有強大的過程可視化功能,具有用戶友好的圖形界面,允許操作員監視和調整過程。它還具有報告功能,使操作員能夠在每次運行開始前分析和微調進程。過程監視、硬件組件監視、溫度控制和自動過程控制等功能允許快速響應不斷變化的過程變量和高效的過程周期。總體而言，LAM RESEARCH KIYO FX STRIP是一種先進的蝕刻機/灰化機，在很小的占地面積內提供精密蝕刻/灰分處理。擁有一系列有用的工藝附件,如自動化工藝端點檢測器, 區域電源控制和晶片清洗,以及集成的報告和過程可視化功能, 它提供深蝕刻、淺灰、介電蝕刻和BEOL工藝， 以及快速響應不斷變化的過程變量和減少的設置時間, 使其成為大批量生產支持應用程序的理想解決方案。