二手 LAM RESEARCH KIYO FX #293791061 待售

LAM RESEARCH KIYO FX是一款功能強大的蝕刻器/灰燼解決方案,它建立在等離子蝕刻組的前沿蝕刻/灰燼技術之上。KIYO FX旨在在蝕刻和灰分工藝步驟中實現高通量、清潔和均勻的結果。它是廣泛蝕刻和灰化應用的理想解決方案，包括半導體晶片基材蝕刻、MEMS/NEMS/MOEMS器件蝕刻、納米光刻和光刻、掩模和其他光掩模材料的圖樣制作等等。LAM RESEARCH KIYO FX具有創新的低壓反應性離子蝕刻（RIE）技術,可產生高質量的表面和均勻的蝕刻輪廓。設備使用主動和脈沖模式蝕刻，可以產生亞微米尺度的圖案和特征。KIYO FX還包括多種工藝工具，如微波等離子體、低壓感應耦合等離子體（ICP）、深反應性離子蝕刻（DRIE）。它具有中高速蝕刻性能,在控制特征尺寸和蝕刻均勻性等關鍵參數的批內和批間可變性方面具有較高的精度。LAM RESEARCH KIYO FX設計具有多種流程增強功能,包括自動化功能、溫度控制、應用程序監控和可編程數據日誌記錄。我們創新的工藝氣體，包括氯氣、氧氣和氙氣，保證了卓越的蝕刻性能。該系統還設有有助於優化工藝質量的高分辨率視覺單元，以及記錄壓力、流量、溫度等關鍵工藝參數的數據記錄機。KIYO FX提供適合多種材料的高通量、低壓蝕刻和灰燼性能。其堅固可靠的平臺能夠使用多種材料，從介電膜到金屬，甚至是堅韌的材料組合，使其成為先進制造和器件制造的理想蝕刻解決方案。