二手 LAM RESEARCH KIYO FX #293819375 待售

LAM RESEARCH KIYO FX是為滿足全球半導體制造要求而開發的高性能、高容量的蝕刻器/asher解決方案。這種蝕刻和灰化設備經過精心設計,能夠為整個半導體行業使用的各種蝕刻和蝕刻/灰化工藝提供業界領先的性能。KIYO FX提供多層不同數字材料的低應力蝕刻/灰化,從而提高產量和質量。該系統利用數字控制器在蝕刻/灰化過程中隨時間保持均勻性,並提供從批處理到批處理的一致性。LAM RESEARCH KIYO FX配備了先進的幹蝕刻/Asher模塊,旨在為蝕刻和灰化過程提供更高的吞吐量和更好的吞吐量一致性。蝕刻/灰化工藝是根據正在蝕刻或灰化的特定層和材料量身定制的。該裝置能夠在半導體應用中提供高達95%的蝕刻速率和高達60%的蝕刻速率。除了強大的蝕刻/灰化模塊外,KIYO FX還具有許多其他功能,可幫助提高蝕刻和灰化過程中的性能和效率。LAM RESEARCH KIYO FX包括一個高度精確的超高頻陀螺儀和鵝毛筆驅動器，在蝕刻和灰化過程中提供了板材的精確運動。這種提高的精度和控制極大地提高了工藝的均勻性，並有助於確保每一層的蝕刻和灰度一致。KIYO FX還包括一個定制的測量工具，可以幫助在機器開始運行之前確定給定進程最合適的蝕刻/灰度參數。這是通過測量蝕刻和灰化前後的均勻性，為精度驗證和工藝優化提供數據來完成的。LAM RESEARCH KIYO FX專為手動和自動化流程而設計,提供多種操作選項。該工具具有自動化功能,用戶可以設置和存儲各種可定制的參數化配方。此外，該資產還具有綜合的數據收集和報告流程，能夠對流程結果進行全面評估。KIYO FX是一種蝕刻和灰化模型,具有卓越的吞吐量速率和均勻性,可提高產量和工藝優化。LAM RESEARCH KIYO FX利用數字控制器、高級蝕刻/灰化模塊、壓板的精確移動以及數據收集和報告,為使用多層數字材料的制造商提供了理想的蝕刻/灰化解決方案。