二手 LAM RESEARCH KIYO FX #9311231 待售

LAM RESEARCH KIYO FX等離子體蝕刻器/Asher是一個集成的等離子體蝕刻和後處理系統，旨在為金屬、半導體、矽化物、電介質和光學塗層材料等多種表面提供高效、均勻的等離子體蝕刻和後處理。KIYO FX配備了大功率射頻發電機，以提供比市面上大多數其他蝕刻機更高的選擇性和更好的表面處理。LAM RESEARCH KIYO FX擁有600 x 545 x 280 mm的大腔室尺寸，允許大範圍的應用，允許蝕刻更大的堆棧或收集陣列。控制器為直觀的GUI提供了廣泛的參數範圍,允許微調蝕刻過程。等離子體蝕刻器被設計成一個最佳的蝕刻輪廓和最小的損壞的晶片。KIYO FX能夠蝕刻具有受控等離子體參數的晶片，以匹配抗蝕劑規格、材料組合和工藝參數。它還包括雙卡盤設計，在晶片背面施加壓力，以確保更好的蝕刻輪廓。LAM RESEARCH KIYO FX可以在各種氣流如Ar、O2、N2和C4F8進行蝕刻，並對每個蝕刻材料部分進行了優化配方，KIYO FX附帶了完整的討論，涵蓋蝕刻工藝、蝕刻參數、晶片汙染、晶片裝卸、晶片測量反饋、腔室維護、診斷。所有這些功能使LAM RESEARCH KIYO FX成為市場上更全面的蝕刻系統之一。它也非常用戶友好，可以根據客戶的具體需求量身定制。KIYO FX是一個多功能平臺，非常適合半導體行業的許多蝕刻應用。堅固的設計允許在一次運行中蝕刻各種商品,包括金屬、電介質、絕緣材料和鈍化層。該蝕刻系統還具有高效的溫度控制、較低的腔室壓力和較低的沈積界面，使蝕刻器能夠具有卓越的可控性和質量。LAM RESEARCH KIYO FX蝕刻器還提供了較高的數據速率，允許對大零件進行蝕刻。總體而言,KIYO FX是一款出色的蝕刻器/Asher,用於各種曲面的蝕刻和後處理。堅固的設計、直觀的用戶界面和可調節的參數設置使其成為半導體行業蝕刻應用的絕佳選擇。