二手 LAM RESEARCH Kiyo Poly #9353174 待售

LAM RESEARCH Kiyo Poly是一種先進的各向異性幹蝕刻器/asher設備，用於各向異性蝕刻光刻劑和聚合物薄膜。該系統旨在提供對選擇性、各向異性蝕刻剖面和優良材料均勻性的精確控制。該技術結合了射頻（RF）和直流電（DC）偏置功率、預設配方和裝有工藝晶片的真空室。Kiyo Poly配備了一個四室直流蝕刻器和一個融入單個緊湊單元的五電極射頻發生器。這臺機器從一系列蝕刻工藝中汲取靈感，實現光刻膠、聚合物薄膜甚至碳納米管樣品的優化蝕刻。它提供了優越的選擇性以及在大面積上具有均勻性的配置文件。Kiyo的幹蝕刻工藝是由諸如氯氣（Cl2）、三氟化氮（NF3）和熱增強氟化乙烯（TEF）等蝕刻氣體提供動力的，這些氣體根據所蝕刻的材料以多種組合方式使用。加熱元件用於在過程控制數據期間生成所需的溫度水平，並由機載過程控制器自動監控。利用完整的數字反饋回路實時調整參數的蝕刻配置文件監控軟件，對蝕刻的化學性質和參數進行了管理和優化。預編程配方存儲在該工具的過程控制器中，提供了各種材料的通用蝕刻。利用蝕刻氣體與射頻偏置功率和直流偏置功率相結合，對電化學蝕刻光刻劑、聚合物和其他材料產生精確的輪廓控制和理想的蝕刻速率。用戶可以定義蝕刻的選擇性，甚至可以調整配方以適應樣品材料的形狀。一個自動晶片裝載機使資產能夠同時處理幾個基板，產生極好的可重復性，準確性和一致性。LAM RESEARCH Kiyo Poly是一款用途廣泛、經濟實惠且可靠的蝕刻器，適用於半導體、光伏、電信和醫療等多種行業。其先進的特點和堅固的設計使得它成為一個可靠的選擇蝕刻一系列具有卓越的均勻性、準確性和可重復性的基板。