二手 LAM RESEARCH Kiyo #9282757 待售
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已售出
ID: 9282757
Poly etcher
(3) Chambers (PM2, 3, 4)
With microwave (PM1)
MF (EFEM / TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS A419-42-212 IPump (Ontool pump)
(4) GE 605-109114-001 CPU
(4) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(4) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
WATLOW 778-900046-701 Temperature controller
(3) WATLOW 778-900046-301 Temperature controllers
(3) LAM RESEARCH 810-495659-006 ESC Power supplies
(3) OCEAN OPTICS 685-801852-002 OES
MKS VDMB-23398 VODM
ASTEX AX2630NRC3-Q Microwave source
(3) LAM RESEARCH 839-019090-328 ESC
IGS Gas box
Gas line:
(3) Gas 12 HORIBA Z300
(3) Gas 11 LAM RESEARCH 797-026724-303
(3) Gas 10 HORIBA Z300
(3) Gas 9 LAM RESEARCH 797-026724-508
(3) Gas 8 HORIBA Z300
(3) Gas 7 LAM RESEARCH 797-026724-509
(3) Gas 6 HORIBA Z300
(3) Gas 5 HORIBA Z300
(4) Gas 4 HORIBA Z300
(3) Gas 3
(3) Gas 2 LAM RESEARCH 797-026724-525
(3) Gas1 LAM RESEARCH 797-0267724-624
(3) MKS 649A-25014 He UPC
UNIT UFC1661 O2
UNIT UFC1661 N2
(3) MKS E28B-23747 Process guages
HPS 109070019-CE TM vacuum guage
(2) HASTING HPM 2002 OBE Air lock vacuum guages
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pumps
(3) ADIXEN ATH2300M Turbo pump controllers
(4) ADIXEN ADS1202H PM Dry pumps
(3) RATCHETC BCU-E320F1 Chillers
(3) AE 660-024637-026 BIAS RF Generators
(3) AE 660-900984-008 TCP RF Generators
(3) LAM RESEARCH 848-801420-017 BIAS RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 853-800120-112 TCP RF Matchers
(3) LAM RESEARCH 834-030822-025 BIAS RF Cables
(3) LAM RESEARCH 834-030819-018 TCP RF Cables.
LAM RESEARCH Kiyo是一款高效、經濟實惠的蝕刻/灰分設備，非常適合半導體晶圓制造和其他相關應用。它配備了高效的石英管等離子體源，便於蝕刻速度比以前的解決方案快四倍，可重復性得到提高。Kiyo還提供了改進汙染控制的優勢，這要歸功於它的創新設計，它需要最小限度的汙染調節。這使其能夠達到極低水平的過程和微粒汙染。它還允許用戶使用一個系統執行多個晶圓處理步驟，由於減少了刀具維護和周期時間，因此節省了大量成本。除了提高晶片加工的速度和質量外,LAM RESEARCH Kiyo直觀的用戶界面使操作員能夠輕松地對設備進行編程以獲得最佳性能,而其先進的安全功能則增強了對有害材料的保護。這臺機器能夠實現高蝕刻速率與超精確的電壓和壓力控制，以及低溫操作。Kiyo可以配置為處理廣泛的材料，從各種金屬、聚合物和矽化物到最難蝕刻的材料如碳化矽和氮化物。此外,它還可以在生產運行中無縫部署,這要歸功於即時可編程配方和自動配方傳輸等功能。該工具還提供高級監視和診斷功能,因此用戶可以快速識別和糾正錯誤。總體而言,LAM RESEARCH Kiyo是一項非常先進的蝕刻資產,以經濟實惠的成本提供業界領先的功能。其直觀的圖形用戶界面簡化了培訓,其無與倫比的速度和質量使其成為需要短生產周期和高質量產品的組織的理想解決方案。
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