二手 LAM RESEARCH Kiyo #9298588 待售

LAM RESEARCH Kiyo是一款蝕刻器/asher,旨在為各種大批量應用提供卓越的蝕刻和灰化能力。采用最先進的技術，對於最苛刻的大批量生產要求來說，是絕佳的選擇。Kiyo利用Advanced Source-Monitor Polarity （ASMP）技術以及獨特的多點電弧輔助蝕刻（MPAE）提供卓越的蝕刻和灰化性能。ASMP為LAM RESEARCH Kiyo提供了在偏置電壓和源電流的不同組合下使用同一蝕刻工具的能力，允許復雜的設計變更而無需新的蝕刻工具。MPAE是在基板電極和蝕刻工具之間引發電弧的獨特過程，有助於將氣體分子以更高的精度和可靠性轉移到源監測器。此功能提供了額外的流程可重復性和效率。Kiyo還有一個集成的溫度控制室，在蝕刻和灰化的同時確保最佳的溫度穩定性。這確保了高質量的蝕刻和灰化，並有助於減少基材損壞的機會在過程中。LAM RESEARCH Kiyo可以蝕刻和/或使直徑達8英寸的晶片和厚度達200微米的晶片。具有高密度蝕刻、單級蝕刻、多級蝕刻、亞微米蝕刻等能力。Kiyo是一個功能齊全的工具,與傳統的選項相比,它具有多種優勢。其先進的源監控極性技術和多層蝕刻結構以最需要的工藝能力為目標,減少了對多工具設置的需求,並實現了更高的吞吐量。它的精密蝕刻能夠實現極高的產量，其緊湊的形狀和較小的占地面積使其方便地適合小型返工站或實驗室。總之，LAM RESEARCH Kiyo是一個在特性上打孔的蝕刻器/asher，是各種大批量應用的理想選擇。它提供高精度的蝕刻，優越的蝕刻和灰燼性能，溫度穩定，靈活的設計結構。Kiyo承諾將成為任何實驗室可靠和高效的工具。