二手 LAM RESEARCH Kiyo #9314591 待售

LAM RESEARCH Kiyo 蝕刻器/asher是一種用於物理去除薄膜和蝕刻基材的裝置。Kiyo允許對材料如半導體、多層薄膜、金屬和復合材料進行精密處理。通過其強大的平臺，用戶能夠在保持最高生產產量效率的同時取得優異的效果。LAM RESEARCH Kiyo是一款全自動、自伺服控制的設備，提供完整的過程控制。該系統包括一個軟件接口，用於控制蝕刻過程參數，允許高度精確的結果與最小的操作員幹預。在一個直觀的軟件窗口中監視和調整所有相關參數。Kiyo還配備了高性能蝕刻室，方便高效蝕刻不同類型的材料。該腔室由不銹鋼制成，具有直徑可達兩英寸的大開放區域，提供了廣泛的蝕刻可能性。為降低背面蝕刻的風險，使用玻璃窗蓋保護晶圓背面。LAM RESEARCH Kiyo的高分辨率成像裝置提供出色的蝕刻圖樣能見度。這臺機器包括CCD相機和LED照明，還采用了邊緣增強和自動圖像識別等用戶可配置的技術。與傳統的濕蝕刻工藝相比，Kiyo能夠實現超高質量的蝕刻。這是由於多種技術特點，如提供準確一致工藝參數的智能控制工具，以及強大、高流量的幹式真空泵和大容量等離子體源，確保了出色的蝕刻性能。所有這些功能使LAM RESEARCH Kiyo成為各種蝕刻和灰化工藝的理想選擇,提供卓越的精度和可重復性。它是任何需要高質量蝕刻和灰化性能的加工要求的完美解決方案。