二手 LAM RESEARCH Kiyo45 Poly #9137311 待售

LAM RESEARCH Kiyo45 Poly
ID: 9137311
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
System, 12" 2007 vintage.
LAM RESEARCH Kiyo45 Poly是一種主要為半導體和MEMS行業設計的低壓蝕刻/灰化設備。最適合於高精度多晶矽蝕刻、蝕刻、淺溝隔離蝕刻、接觸孔蝕刻、鈍化層蝕刻和波導蝕刻等應用。該系統采用了一種新的、專利的、高縱橫比蝕刻(HARI)技術,將氣體歧管和淋浴頭集成在一個整體單元中。該裝置能夠在非常低的氣體壓力下提供長而均勻的蝕刻時間,並且不會損壞裝置表面。這有助於提高設備產量和可重復性。此計算機可配置為批處理、串聯或獨立配置,具有一系列處理室大小和配置。Kiyo45 Poly旨在為各種應用和基材提供靈活性。該工具的一個關鍵特點是其高精度、可控的送電資產。這使得用戶能夠通過對多晶矽蝕刻應用的出色輪廓控制來實現非常可重現的工藝結果。該電源可產生最大的2000W,以獲得優異的多晶矽蝕刻效果。此外,LAM RESEARCH Kiyo45 Poly可以在大氣壓或低壓能力下操作,可以從1500-2000W操作。該車型還配備了最新的等離子體控制技術。它采用分布式磁場(DMF)來提高蝕刻性能、重復性和均勻性。DMF旨在最大程度地提高整個晶片表面的蝕刻均勻性,同時有效減少氧氣汙染和顆粒形成。這是通過提高濺射效率和控制電極侵蝕來實現的。DMF還優化了蝕刻工藝氣體在晶片表面的分布,提高了整個晶片的蝕刻速率。此外,設備對工藝氣體的壓力和流量提供穩定和準確的控制。過程氣流由機載質量流控制器精確控制,並自動調整到工藝參數。此外,Kiyo45保利集成系統的獨特設計也使得該設備的升級成為可能。這意味著機器可以很容易地針對不同的工藝氣體、工藝配方或新蝕刻工藝的集成進行重新配置。總體而言,LAM RESEARCH Kiyo45 Poly是半導體行業的一種高度精確可靠的蝕刻和灰化工具,提供了出色的可重復性和輪廓控制。憑借其高速蝕刻特性和大氣壓力能力,該資產適用於多種應用,包括高精度蝕刻、通過蝕刻、STI蝕刻、接觸孔蝕刻、鈍化層蝕刻和波導蝕刻。
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