二手 LAM RESEARCH LF 4500 #9245075 待售

LAM RESEARCH LF 4500是一種高級蝕刻/灰化工具，用於反應性離子蝕刻（RIE）和灰化操作。此蝕刻器/asher提供卓越的性能,並具有高級流程靈活性,適用於各種RIE和ashing應用程序。LF 4500具有堅固的設計,包括高速等離子體腔室和大負載鎖,以及快速、精確的配方軟件。這個蝕刻器/asher配備了一個多區域端點探測器，它允許快速的腔室清洗和更高效的過程。LAM RESEARCH LF 4500能夠在一個工具中執行蝕刻和灰化過程。使用SF6和O2氣體混合物使用LF 4500進行蝕刻操作。蝕刻速率可根據使用的工藝類型和基材進行調整。LAM RESEARCH LF 4500能夠提供高精度蝕刻,變化不大。LF 4500還提供了一系列的ashing工藝，包括快速ashing和高精度不銹鋼asher選項。這種蝕刻器/asher使用熱水浴缸的氟有機物蒸氣來實現化學灰化。該方法具有良好的室內清潔度控制和一致的工藝效果.LAM RESEARCH LF 4500具有完全集成且易於使用的配方軟件系統。此軟件允許用戶快速編程蝕刻和灰化操作的配方,從而輕松實現所需的過程結果。該系統還包括高級工藝控制功能,以更好地控制蝕刻和灰化。總體而言,LF 4500是一種可靠且先進的蝕刻和灰化系統。它提供強大的工藝靈活性、精確的蝕刻速率以及快速的蝕刻和灰化操作。憑借LAM RESEARCH LF 4500的高性能及其易於使用的配方軟件,用戶能夠在各種修剪、金屬化和mosfet/mask開口處理應用程序中快速可靠地取得優異的效果。