二手 LAM RESEARCH Main body for 2300 Exelan #293665646 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款工業級的asher（蝕刻器），設計用於半導體制造的各種材料的精確一致蝕刻。它配備了專用步進電機和基板處理設備，可以獨立快速高效地移動基板，同時保持高蝕刻精度。LAM RESEARCH 2300 Exelan采用基於Windows的高速數字控制器,允許精確蝕刻和復雜的過程序列。該系統有兩塊獨立的熱板，每塊能夠處理多達500塊基板。這樣可以同時完成多個工作流,從而提高吞吐量和效率。此外，封裝在外殼內的是獨立控制的雙室等離子體源，這些源提供高能等離子體，以產生均勻的蝕刻剖面，而室內殘留的氣體最少。LAM RESEARCH 2300 Exelan帶有直觀的用戶界面,可通過直觀的觸摸屏顯示器輕松訪問所有流程參數。此外,該軟件還可以快速輕松地與各種LAM RESEARCH認證的程序集成,從而實現遠程機器監控和自動數據采集。LAM RESEARCH 2300 Exelan是為了最大安全而設計的。它具有多個獨立的安全功能,包括緊急關機、多個聯鎖和冗余壓力監視器。此外，其高質量的結構包括堅固的隔振和先進的冷卻機器，以確保電子束始終指向準確的基板位置。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan旨在在工程師的極少幫助下快速準確地蝕刻和加工各種復雜的基板。LAM RESEARCH 2300 Exelan憑借其獨立的基板處理工具、雙室等離子體源、直觀的用戶界面以及多種安全特性，是蝕刻大型電子和元件的理想選擇。