二手 LAM RESEARCH Metal45 #9351454 待售

LAM RESEARCH Metal45是為半導體晶片的高通量處理而設計的CVD 蝕刻器/asher。Metal45提供了最先進的工藝靈活性,能夠無縫集成到生產環境中。LAM RESEARCH Metal45特性包括保形等離子體均勻性、卓越的裝卸能力以及優化的過程控制。這些功能使其成為一種理想的蝕刻器/灰化器,用於蝕刻和灰化各種材料,如Cu、Al、TiN,以及要求更高的金屬和有機物。Metal45支持標準背面蝕刻和側壁蝕刻應用。它利用一對獨立操作的離軸高密度等離子源，以確保高度均勻的蝕刻和灰分速率。LAM RESEARCH Metal45還利用專有的3SICARD™設備來控制和設置過程參數,這有助於確保持續的高質量結果。Metal45是一個占地面積很小的自動化系統。它旨在方便地集成到生產線中，並提供了一個直觀的軟件界面，用於蝕刻和灰燼工藝的設置和監控。自動化單元是完全可配置的，以優化單個基板的要求的過程。LAM RESEARCH Metal45還配備了獨特的過度蝕刻和重新蝕刻能力，允許在蝕刻和灰燼操作過程中微調工藝參數。Metal45臺機器旨在通過工具的圖形操作面板實時通知操作員,從而便於監控過程性能。LAM RESEARCH Metal 45的最先進的設計也提供了很高的可靠性和過程重復性，使其成為大規模生產的理想蝕刻器/asher。此外,Metal45還經過認證並符合SEMI S2-0200和通用行業標準（CIS）的要求,適用於大批量批量蝕刻系統。總之,LAM RESEARCH Metal45是一種可靠的高通量蝕刻器/asher,設計用於各種材料類型的可靠、可重復和準確的處理。資產的先進特性使其成為大型生產環境的理想選擇。