二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Speed #9293846 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed是一款為工業應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種全自動設備，旨在提供快速、準確和可重復的半導體晶片蝕刻和灰化。它結合了高級軟件控件，為每個流程步驟提供精確的控制。該系統包括一個加工室和一個晶片處理單元，用於處理、處理和後處理具有多種電流液體或氣體的晶片。可用於銅、鋁或其他金屬合金的蝕刻和灰化工藝。NOVELLUS Concept 2 Speed能夠處理直徑達12英寸（304.8mm）的晶片,表面平面度平均為0.5 µm。晶圓處理機由一個轉換室、一個晶圓夾套和一個盒式升降機組成。輸送室配有安裝在腔室頂部的射頻發生器，以及執行工藝晶片物理隔離的銅歧管。此外,LAM RESEARCH Concept 2 Speed采用等離子體清洗工具,旨在改進晶圓清洗過程。它配備了兩臺射頻發電機，一臺用於濺射沈積的上部發電機和一臺用於射頻蝕刻的下部發電機。在兩個渦輪泵的幫助下，等離子體清潔資產長期保持上壓靜止。Concept 2 Speed還具有控制器,它是精確過程控制的基本要素。它包括精確的定時、溫度、壓力、電流和電壓控制，確保統一和精確的結果。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Speed提供了簡單、精確的操作控制,並提供了一個出色的顯示面板,可清晰查看工藝室參數。再者，它配備了強大的軟件控制掃描儀，使得多個晶片可以同時處理。它有能力儲存三種不同的食譜，每種食譜最多256步。這樣可以節省生產的復雜性和時間。最終結果是一個由一個軟件平臺控制的持續安全且可重復的過程。