二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #293819068 待售

LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed
ID: 293819068
High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) System.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種蝕刻器/asher,用於半導體制造中的蝕刻、沈積和清潔步驟,其特點使其成為先進技術的理想選擇。它是半導體生產中用於反應性離子蝕刻、化學氣相沈積、大氣壓幹蝕刻、分離等離子體蝕刻和清潔過程的先進工具。NOVELLUS Speed利用二維平行性在蝕刻沈積過程中以更高的精度和產量提高吞吐量和工藝LAM RESEARCH Speed。此工具可擴展,以適應未來技術的進步,使用戶能夠快速更換硬件以保持競爭激烈的生產速度。Speed整合了最先進的藥物制劑技術,在不產生汙染物的情況下,安全準確地控制顆粒通過設備的運輸。這一技術使系統能夠運輸蝕刻和沈積過程所需的細小顆粒,而不會產生有害排放物或產生產量低的副產品。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed還設有一個先進的軟件控制單元,在控制蝕刻和沈積工藝參數時確保分步精度。這臺軟件驅動的機器允許用戶創建定制的工藝,以滿足不同基材和工藝的特定性能和質量要求。NOVELLUS Speed也有能力將濕板凳操作整合到單一真空工具中,不需要額外的濕板凳處理,方便濕板凳和主要資產之間的過程信息傳遞。這種能力有助於提高蝕刻和沈積過程的效率和成本效益。總體而言,LAM RESEARCH Speed是一種先進的蝕刻器/灰化器,非常適合先進的工藝技術,因為它具有提高吞吐量的二維平行性、用於控制顆粒運輸的尖端藥物配方技術以及用於定制工藝創建的軟件控制模型。它也有能力將濕板凳操作整合到設備中,使其更具效率和成本效益。
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