二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9235078 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種用於晶圓處理的蝕刻器/asher。它是兩個不同系統的組合，LAM Etcher/Asher和NOVELLUS Asher。該設備旨在滿足各種晶片加工需求，包括單晶片步驟、平面化和薄膜沈積。LAM Etcher/Asher是一種先進的等離子體蝕刻系統，設計用於精確晶圓圖樣。它使用雙級ICP源配置生成高度統一和高效的蝕刻過程。該單元采用專利Microzone™蝕刻機，提供精密、高通量的最佳分辨率蝕刻。它設計用於控制所有基板上的蝕刻參數，這有助於確保工藝結果的均勻性。蝕刻室可靠性高，可支持廣泛的晶圓加工需求。NOVELLUS Speed Asher是一款先進的Asher工具，可與LAM Etcher/Asher配合使用。它旨在提供精確和均勻的晶圓熱過程，並提供盡可能最快的循環時間。采用高LAM RESEARCH速度氣態灰化工藝在晶片上沈積二氧化矽薄膜。該資產為廣泛的晶圓應用提供了快速、準確的晶圓熱處理，包括鈍化、平面化和金屬化。在焊料回流之前，粉碎機還可用於晶圓表面的清洗和清洗。LAM Etcher/Asher和Speed Asher的結合為研究和生產提供了一個高度可靠、生產性的晶圓加工模型。該設備提供高吞吐量、準確的工藝結果和工藝一致性，LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Asher提供的快速周期時間。其先進、易於使用的控制系統可確保快速一致的結果,並幫助用戶快速設置和優化其流程參數。LAMNOVELLUS Speed Asher是為各種應用處理晶片的可靠且經濟高效的方法。