二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9293848 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種用於半導體制造業的蝕刻和灰化工具。它旨在利用創新技術實現高吞吐量,從而實現更快的陣列設計。該系統采用兩步工藝進行蝕刻和灰化，從化學蝕刻步驟開始。在此步驟中，在NOVELLUS Speed平臺內的真空室中生成等離子體。化合物，例如Cl2，隨後被引入等離子體，從而產生高精度的蝕刻過程。然後,蝕刻後的保護膜可以保護蝕刻後的特征,從而允許後續的粉刷和剝離步驟。Ashing步驟利用O2、He和Ar的獨特三向組合，提供清潔高效的Ashing過程，而不需要過多的顆粒堆積。此外，LAM RESEARCH Speed平臺能夠控制室內壓力，確保精確蝕刻和灰化條件。Speed的高級算法還允許平臺就如何調整腔室的壓力和溫度以優化蝕刻和灰化結果做出獨立的決定。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed非常適合各種工藝，可以處理最關鍵的半導體陣列設計需求。其高通量功能使其成為需要高級蝕刻和灰化的過程的一個有吸引力的選項,例如MEMS設備、finfield-effect晶體管（FET）和超大規模集成（VLSI）。此外,NOVELLUS Speed能夠處理各種晶圓大小、形狀和厚度。LAM RESEARCH Speed設計了直觀的用戶界面，還配備了自適應測量系統，使工具能夠提供實時數據分析，以更好的性能優化。這種功能強大的工具也非常可靠,具有較低的停機速率和一致的晶圓吞吐量。總體而言,Speed是一個高級蝕刻和灰化系統,它為陣列化應用程序提供高通量和無與倫比的精度。對於那些在半導體制造過程中需要卓越性能的人來說，這是一個理想的選擇。