二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9315261 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種蝕刻器/asher，用於處理半導體元件。該機設計為生產產率和性能優異的優質矽片。NOVELLUS Speed利用高精度、高通量的物理蝕刻和化學沈積工藝,同時使用濕法和幹法。LAM RESEARCH Speed被設計為能夠高效生產單結構（或標準）集成電路、MEM（微機電系統）和光子器件。Speed使用兩種技術進行晶圓加工-物理蝕刻和化學沈積.物理蝕刻是使用化學溶液或氣體蝕刻層以創建所需結構的過程。化學沈積是兩種物質的化學反應導致材料沈積在表面或層內的過程。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed允許各種材料和厚度的圖樣化，以及控制表面完整性的能力。NOVELLUS Speed采用高分辨率可視化在線檢測設備,可直觀檢查和測量矽片的多個方面。該系統提供更高的日產率、更高的吞吐量、更好的質量和更低的維護成本。LAM RESEARCH Speed還包括一個可編程的基板支撐單元，以及基板負載和卸載自動化。這樣可以確保晶片的正確支撐和處理,並確保晶片在處理過程中不會損壞。速度允許使用實時數據采集機進行流程監控,從而提供流程改進或問題的近乎即時的反饋。集成的板載數據存儲工具在運行過程中存儲所有進程數據,從而提供對蝕刻/沈積過程的完全控制。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed還采用了LAM的靈活處理中心（FPC）軟件,通過實時調整對硬件和流程設置進行了更大的控制。FPC允許靈活地執行配方,從而可以使用單個平臺完成各種不同的流程和應用程序。NOVELLUS Speed Etcher/asher是一款高可靠性、高LAM RESEARCH Speed、經濟高效且精確的工具,用於制造集成電路、MEM和光子器件。通過利用高精度的自動化過程控制,以及先進的在線目視檢查和基板處理技術,Speed確保了晶圓的一致性和可重復性。FPC軟件允許對特定配方和工藝控制進行用戶友好的編程,從而實現多用途、高效的矽片制造。