二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9351453 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed是一種蝕刻器/asher，用於先進的半導體制造。它專為最佳吞吐量而設計,每小時最多可處理600個晶圓。它是一種高性能、高通量的蝕刻器，專為高級半導體器件處理中最苛刻的任務而設計。NOVELLUS Speed techer的核心技術是其highLAM RESEARCH Speed氣體系統結合其先進的等離子體源。氣體系統使用一系列氣體分散器，使氣體在被加工的晶圓表面上均勻分布，而等離子體源有廣泛的氣體類型和壓力可供選擇。這樣可以精確地控制蝕刻過程,對橫向特征尺寸進行精細控制,並有效地優化工廠的整體吞吐量。蝕刻工藝基於與反應性離子蝕刻（RIE）相同的原理。Speed配備了鎖載室、蝕刻室、等離子源和氣體系統。晶片被裝入負載鎖室，在那裏進行預清洗和預處理，以準備晶片表面進行處理。經過預清洗和預處理過程後，晶片被轉移到其中註入反應氣體的蝕刻室。控制室內使用的壓力和氣體類型以獲得所需的蝕刻結果。然後在蝕刻室中生成等離子體以啟動蝕刻過程，加熱的反應氣體分子與晶片表面反應形成薄表面膜，然後將其蝕刻掉。蝕刻器還具有多個控制接口模塊,如原位腔室診斷包、手動覆蓋和高級用戶控制,以確保最佳蝕刻結果。從預清洗和預處理到蝕刻，能夠監控和控制整個過程，從而實現最大程度的過程均勻性和最小的偏移。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed Etcher已被證明是一種高效、可靠且經濟實惠的高批量生產蝕刻解決方案。它的靈活性和用戶友好的控制界面使其成為制造商希望降低制造成本和提高生產吞吐量的理想工具。無論是用於設備的深層蝕刻，還是簡單的平面化和化學機械拋光，NOVELLUS Speed蝕刻機都提供了最好的效果。