二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款蝕刻器/asher，旨在方便先進的半導體加工。它采用共平面高通量拼貼技術,支持大於20K矩陣點的模式密度,從而實現更高的吞吐量和更快的設備覆蓋率。此外,NOVELLUS Vector Express還能夠在不均勻的層厚度以及幹式和濕式蝕刻上執行多圖案化層傳輸,從而使用戶可以更好地控制其蝕刻過程。LAM RESEARCH Vector Express配備了包括批處理和自動優化工具的綜合軟件套件。這使用戶能夠利用增強的工藝步驟組合,包括蝕刻、保形塗層、背磨和圖案,同時提供統一和可重復的結果。該軟件套件還提供了熱和電監控功能,幫助確保在多個晶圓運行過程中實現統一和可重復的結果。在工程規格方面，Vector Express提供各種蝕刻速率，從0.1到1 µm/min不等，單邊水平槽可重復性± 0.4 µm/min，寬度降至10 µm。它還能夠具有920 x 700 mm的腔室尺寸，設計用於多達12英寸的晶圓，並支持多種晶圓材料。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express旨在滿足半導體市場不斷變化的需求,展示了NOVELLUS致力於提供頂級蝕刻和灰化設備的承諾。它的軟件套件和工程規格為用戶提供了一個強大的工具包，幫助他們實現精確和可靠的蝕刻過程。NOVELLUS Vector Express是半導體制造工藝的一個有價值的補充，它允許用戶以更高的精度和更快的吞吐量創造產品。