二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293615299 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一種先進的蝕刻/asher技術，用於沈積介電和金屬層等材料，並進行高精度蝕刻和清洗。該系統能夠生產準確、可靠和高產的產品，並具有統一和可復制的工藝。NOVELLUS Vector Express是各種應用中高級設備研發和生產的完美工具。LAM RESEARCH Vector Express配備了兩個精確控制的氣體註入系統，產生等離子源氣體的平行流動，屏蔽和蝕刻氣體，從而實現了高質量的蝕刻和清潔結果。它還具有針對任何應用的高性能蝕刻的優化壓力和真空系統。真空和壓力要求是可變的和可調的，以適應工藝要求。Vector Express能夠提供出色的物料去除和清潔。它被設計成具有非常小的光束尺寸，能夠使材料的氣相沈積更加精確，而不會在基板的面積上有任何明顯的厚度變化。這就產生了均勻一致的介電層厚度,這是設備性能優異所必需的。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express配備了多種流程監控解決方案，可實現可靠的流程控制。這些溶液可監測壓力和溫度、電極數量、沈積或去除的物料數量以及其他工藝參數。此數據允許可重復和可靠的結果,以確保設備性能一致。NOVELLUS Vector Express被用於包括半導體、光伏器件制造等多種工業應用。該系統能夠以極高的精度、均勻性和可靠性生產出最先進的應用程序所需的高質量設備。此外,LAM RESEARCH Vector Express能夠輕松集成到工業自動化生產系統中,使其成為工業生產環境的理想工具。這種先進的蝕刻器/asher使其成為最可靠的蝕刻解決方案之一。