二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293625918 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款全自動蝕刻器/asher,旨在以低擁有成本提供高吞吐量、高產品質量和可重復的工藝性能。NOVELLUS Vector Express憑借其強大、可靠的設計以及模塊化、可擴展的體系結構,獲得了卓越的性能。LAM RESEARCH Vector Express采用化學機械拋光（CMP）的原理：將用於去除表面材料的機械力與用於溶解剩余暴露材料的化學作用結合起來。這使得Vector Express能夠有效地從工件中去除不需要的表面材料,從超精確的水平降低到納米深度,包括鋁、鎢和其他金屬的薄膜。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express配備了廣泛的腔室配置，以滿足各種客戶需求，包括濕法/幹法、等離子體蝕刻和低壓幹法蝕刻。每個配置都配有蝕刻工具，可以快速換出，不需要腔室重新限定。該腔室配備了端點檢測、腔室評估、單機工序等自動化機械功能，使操作直觀高效。NOVELLUS Vector Express還配備了集成的生產管理設備,可自動跟蹤每個晶圓的進度,使客戶能夠實時了解其蝕刻/願望操作。該系統還提供了一種存儲和召回配方數據的方法,確保在整個生產過程中獲得一致、可預測的結果。LAM RESEARCH Vector Express是為了滿足緊密的粒子計數需求而設計的，帶有可消除環境粒子的數位化大氣控制單元。該機還提供了先進的粒子控制解決方案，帶有直接粒子測量工具，使工藝工程師能夠精確調整加工條件，以盡量減少汙染。最後,Vector Express附帶了一套軟件解決方案,可減少停機時間並提高流程產量。這些解決方案（如集成的主動診斷和過程監控工具）使客戶能夠最大限度地提高效率和生產力,並將成本節約提升到新的水平。總體而言,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的蝕刻器/Asher,提供強大、可靠的性能和卓越的吞吐量,具有卓越的可重復性和較低的擁有成本。NOVELLUS Vector Express通過其模塊化體系結構和集成的軟件解決方案,使控制和監視過程變得輕松,提高了產量並最大程度地減少了停機時間。