二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的等離子體蝕刻器/asher，用於精密微加工工藝。這種用途廣泛的工具具有一個高性能的等離子體源能夠蝕刻和灰化各種材料，包括金屬，絕緣體和半導體。NOVELLUS Vector Express具有針對每種基材類型優化的可調壓力和設定點,可產生優異的蝕刻效果,不會損壞基材或工藝。LAM RESEARCH Vector Express具有雙射頻發生器和專用高壓源,可實現復雜結構的深蝕刻深度和微米級精度。Vector Express非常適合高通量生產，循環時間快，真空和反應室調節最小，化學用量少。其高度自動化的操作允許輕松設置和監視參數,從而實現快速、可重復的結果。該系統還具有自動調諧功能，可以校準等離子體源以獲得最佳性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express憑借其先進的診斷和車載氣體混合分析系統,確保了精湛的蝕刻質量和最小化的工藝可變性。除了蝕刻之外，NOVELLUS Vector Express還能夠進行灰化、層剝離和其他幹燥處理操作。其通用、堅固的氣體分配平臺針對特定的工藝化學進行了優化，並提供了與底物無關的可重復蝕刻結果。而憑借其高性能的淋浴頭，它可以蝕刻和灰化多達6英寸的晶片而不會降低工藝性能。LAM RESEARCH Vector Express還具有獨特的等離子體蝕刻備份功能,使用戶可以快速輕松地將蝕刻設置恢復到以前的優化狀態。Vector Express是精密微加工應用的理想工具,可提供快速、準確和可靠的性能,使制造過程從研發階段快速轉移到大批量生產階段。