二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293738977 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款用於微加工工藝的高性能蝕刻器和asher工具。它是一個多室系統，有八個獨立的室能夠同時執行多個過程步驟。NOVELLUS Vector Express是一個蝕刻介電、金屬、光刻膠、低k材料，以及縫隙填充和清潔應用的平臺。該蝕刻器具有較高的等離子體源功率（PSP） 1360W並行運行模式。這種高功率確保了高速蝕刻工藝的成功實現，並通過高通量技術滿足了微加工的需要。此外，高PSP有利於蝕刻敏感材料和難以蝕刻薄膜。此外，LAM RESEARCH Vector Express適用於由傳統材料和先進材料組成的多層堆棧的蝕刻。Vector Express通過其高效的冷卻系統進一步增強了靈活性,該系統允許其腔室在0-110°C範圍內運行。這樣可以確保幾乎所有材料的蝕刻,而不會損壞或降解基材。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector Express的溫控輥和卡盤提供均勻、精確的預熱基板，提供均勻蝕刻而不會出現圖樣失真。它在5秒內具有± 20°C的快速晶圓氣候變化，可以減少缺陷並提高電流產量。而且它的熱控精度也極佳，穩定率優於0.1°C。這使得NOVELLUS Vector Express成為成功蝕刻精美圖案和提高產量的理想選擇。LAM RESEARCH Vector Express也擁有高度的過程控制。其基於過程的界面被設計為讓用戶控制所有蝕刻參數，如等離子體強度、氣流、射頻頻率、壓力和冷卻機制。所有這些設置都可以從界面上輕松獲得,並且可以進行監控和調整以輕松微調蝕刻過程。總之，Vector Express是一種頂級的蝕刻器/asher工具，它為各種微加工材料的蝕刻提供了無與倫比的靈活性。由於其高效的溫度控制和較高的PSP功能,它非常適合蝕刻高長寬比特征和處理復雜的微觀模式。此外，其易於使用的基於過程的界面便於控制和監測所有蝕刻參數。所有這些功能使LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express成為那些希望執行高效、精確和高質量蝕刻和灰化操作的用戶的絕佳選擇。