二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293748930 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一種專門為半導體行業大批量應用而設計的先進蝕刻器和asher技術。該設備結合了先進的蝕刻/灰分技術如等離子體輔助蝕刻/灰分（PAE）與多種基板、先進的桶/泵配置以及其他配套技術來優化工藝。該系統將多種工藝技術結合到一個平臺中,可提供卓越的吞吐量和產量。PAE可實現高蝕刻速率和低粗糙度,並具有晶圓盤面和邊緣變形等最小化缺陷。此外，通過使用浮動玻璃、熔融石英、康寧高清電視等多種基材來啟用蝕刻和灰分工藝。通過結合先進的蝕刻技術和灰分技術，NOVELLUS Vector Express能夠提供對多種材料和基材的嚴格控制。LAM RESEARCH Vector Express平臺具有高度可配置性,可用於針對各種流程要求定制解決方案。該平臺由矢量處理單元和多過程控制器兩個主要模塊組成。Vector Processing Cell包括蝕刻/灰分過程的所有組件,如基板支架、真空卡盤、等離子體源、蝕刻和灰分站以及冷卻裝置。Multi Process Controller允許用戶在一次運行中輕松執行多個進程,如蝕刻和灰化。Vector Express還具有高級遠程監視、診斷和跟蹤功能。遠程監控使用戶能夠訪問有關蝕刻/灰燼過程的所有詳細信息,如蝕刻/灰燼速率、溫度、壓力等。用戶還可以追蹤蝕刻食譜，以獲得可追蹤性和可重現性。機器還設計了全工具監控，因此用戶可以查看電流蝕刻/灰分計數、壓力和溫度數據以及周期計數。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express憑借其先進的技術,通過嚴格的工藝控制和優越的吞吐量和產量,實現了高容量、高效的蝕刻和灰化。平臺的多功能性使其能夠根據廣泛的流程要求進行定制，其先進的遠程監控和可追蹤性功能提供了完整的控制和流程管理。