二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691 待售
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單擊可縮放
ID: 293775691
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
System, 12"
(2) BROOKS Vision 9 loader
KASHIYAMA NV60N-5 Cooling pedestals in loadlocks
ATM Robot
Controller kit RBT / Armset, 8.4"
Vortex controller
IOC Controller
Chase computer
TEVET
Cable with accessory
Loadlock
Process chambers:
MKS AX7645RH-01 Remote Plasma Sources (RPS)
MKS AX7645PS-01 Remote Plasma Sources (RPS)
COMDEL CLX-2750 RF LF Generator : 2.75 KW
AD-TEC AXR-2000 RF HF Generator : 2 KW
Process modules:
MKS Baraton 10 Torr
MKS Baraton 1000 Torr
Gas box:
MFC number / Make / Model / Gas / MFC Size
MFC1 / AERA / FC-D980C / SiH4 / 1.5 SLM
MFC2 / AERA / FC-D981SBC / N2 / 1.0 SLM
MFC3 / AERA / FC-D981SBC / C2H2 / 5.5 SLM
MFC4 / AERA / FC-D981SBC / H2 / 10 SLM
MFC5 / AERA / FC-D981SBC / He / 20 SLM
MFC7 / AERA / FC-D982C / N2O / 25 SLM
MFC8 / AERA / FC-D981SBC / O2 / 25 SLM
MFC9 / AERA / FC-D981SBC / NF3 / 3 SLM
MFCB / AERA / FC-D981SBC / N2 / 10 SLM
MFCC / AERA / FC-D981SBC / Ar / 35 SLM
MFCD / AERA / FC-D981SBC / Ar / 5 SLM
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express （VX）是一款蝕刻器/asher設備，設計用於在各種應用過程中產生準確、高質量的電路模式。VX系統配備了最先進的技術，使其能夠執行精確的模式，同時實現高容量吞吐量和優異的均勻性結果。VX利用先進的燒蝕控制軟件，使其能夠精確控制蝕刻和灰化過程。這允許用戶定義要蝕刻的精確圖案，以及精確的蝕刻深度和橫向精度。LAM的Auto@@-Align和Auto@@-Rotate功能進一步增強了該單元,該功能可以移動和旋轉模式,從而更好地對齊和準確性。VX也是高度模塊化的，允許用戶根據自己的需要配置機器。該工具采用Jet-Step過程,以確保統一且可重復的模式。這包括幾個步驟，包括一個預蝕刻，其中基板預塗有一個耐蝕刻材料。接下來是一個主蝕刻步驟，在該步驟中對圖樣進行實際蝕刻。最後,非蝕刻步驟可確保去除任何多余的材料或殘留物。VX還配備了雙多面照明器（DFI）。它由一個反射式多蘭伯式光學封裝組成，由兩層的f-theta和遠心透鏡組成。這允許以多方向方式進行蝕刻，從而允許更精確的蝕刻。該資產還包含一個內置的視覺模型，確保在蝕刻過程中獲得卓越的註冊。這保證了成品的質量和均勻性。此外，該設備的設計旨在減少顆粒汙染，最大限度地減少停機時間。它具有納米顆粒收集系統，專門設計用於在蝕刻過程中捕獲顆粒，防止顆粒汙染基質。這還包括一個冷凝室，它可以控制環境和有效捕獲顆粒。最後,VX設備具有高級診斷軟件。這允許用戶監視不同基板的蝕刻和灰化參數，使他們能夠進行調整和優化機器以獲得更好的結果。所有這些功能使該工具能夠實現無與倫比的精度、準確性和吞吐量,從而獲得高質量的成品。
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