二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的蝕刻器和asher設備，能夠實現亞微米設備的高通量生產。它針對生產用於制造現代半導體器件的高度復雜、高縱橫比結構進行了優化，包括FinFET、MURA和其他先進結構。NOVELLUS Vector Express蝕刻器系統將物理蝕刻與選擇性和精確度相結合。它提供三種不同的蝕刻模式：各向同性蝕刻、定向蝕刻和過度蝕刻。各向同性蝕刻使用單個蝕刻面膜從四面八方創建均勻的蝕刻。定向蝕刻是針對高長寬比結構而優化的,它使用兩個蒙版以實現高垂直選擇性-允許從頂部進行蝕刻,側面蝕刻僅在蒙版未覆蓋的區域進行。過度蝕刻模式針對超光滑的氧化物蝕刻進行了優化,對於精確的修剪操作,過度蝕刻可達到兩毫米。LAM RESEARCH Vector Express還設有一個集成的現場監控單元，用於蝕刻質量保證。這臺機器能夠對端點檢測和過程優化進行連續監控。它配備了CF4蝕刻源和熱表面源,能夠對細膩的特征進行更高的通量處理,並最大限度地降低對底層氧化物層的損壞風險。該工具還具有一個隔離、無靜電的加工室，以確保最高的氧化物質量。Vector Express蝕刻器和asher資產的設計具有非常高的模塊化、靈活性和可擴展性,允許將來進行升級和擴展。它包括一個廣泛的食譜和食譜開發工具庫，通過手工調整和優化過程參數，使要求最苛刻的應用程序成為可能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express非常適合在高級封裝、eWLB和3D-stacking制造過程中集成過程,從而提高可靠性並提高制造產量。