二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800641 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款蝕刻/asher設備,提供卓越的性能和可靠的操作。它設計用於最精確的蝕刻/灰化工藝，如半導體制造中使用的工藝。NOVELLUS Vector Express憑借其獲得專利的腔室級自動前饋蝕刻速率控制（AFRC）技術提供了出色的產品統一性。這項創新技術根據需要調整蝕刻速率，以滿足工藝的要求，同時保持最佳基板溫度以產生高質量的結果。此外,系統還具有動態過程模式,它使用預測模型自動調整以適應不斷變化的過程條件,從而進一步確保產品質量和過程一致性。自動腔室級武革委裝置具有監測和調整蝕刻速率和腔室壓力的能力，使其具有很高的準確性和可靠性。它還能有效處理極端過程條件，在高溫過程中提供優異的效果。此外，它的高分辨率硬件允許比其他蝕刻器/asher更高的精度。該機器具有易於使用的分步過程控制器,可簡化操作員的工作。它提供了一個帶有直觀圖標的圖形用戶界面（GUI）,引導用戶進行正確的設置,並有助於最大程度地減少用戶錯誤。控制器還提供有關工具狀態的實時信息，並允許用戶即時調整流程參數。LAM RESEARCH Vector Express能夠處理各種各樣的基材和材料，包括矽和鋁基材。它還提供一系列工藝選項,如金屬對金屬蝕刻、平板蝕刻和薄膜蝕刻。此外，該資產還有一個通用的盒式磁帶加載模型，可以方便地交換盒式磁帶和基板。這樣可以確保蝕刻和灰化操作平穩高效地運行,這意味著基板可以快速且不受幹擾地進行處理。總體而言,Vector Express是需要精確度和速度的蝕刻/灰燼工藝的絕佳選擇。此設備可提供卓越的性能、可靠性和多功能性,適用於一系列蝕刻和灰化應用。它還具有易於使用的界面和用戶友好的功能,非常適合半導體行業使用。