二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800642 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一種先進的單晶片蝕刻器/asher技術,旨在在廣泛的應用中提供更高的性能。它能夠按順序執行蝕刻和灰分步驟,以產生高質量的結果。NOVELLUS Vector Express提供了卓越的重復性和超快周期時間,為各種蝕刻和灰燼應用提供了高效、更高的吞吐量和靈活性。該機能夠在需要良好的均勻性和可重復性的蝕刻過程中進行高通量處理，設計用於精確的基板溫度控制。它擁有先進的模塊化架構，集成了兩個NOVELLUS工藝室，一個微波發生器和一個射頻發生器在一個單元中。LAM RESEARCH Vector Express提供多種蝕刻和灰分應用的快速、精確處理，如MEMS、復合半導體、矽片稀釋和厚金屬加工。高通量設備以高達80um/min的蝕刻速率處理高縱橫比（3：1）中的小特征尺寸（0.2um）。Vector Express能夠處理廣泛的材料，包括矽、砷、氮化鈦、有機材料、鋁和聚酰亞胺。此外,其集成的多工藝室配置允許在單個周期內處理蝕刻和灰燼步驟。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express預裝了四個工藝配方，一個專門蝕刻，三個灰分配方。NOVELLUS Vector Express是一個精確且經濟實惠的蝕刻/灰化系統,可增強對金屬和有機沈積過程的控制。它具有幾種先進的工藝控制特點，包括精確的溫差控制，以提高工藝精度，自動互鎖，以更快的底物加載，以及自動調整，以實現最佳的均勻性。此外,該單元還包括一個易於操作的觸摸屏圖形用戶界面,以及一個直觀的模板語言和交互式圖形編程,可簡化設備設置並減少停機時間。LAM RESEARCH Vector Express還配備了利用流程數據消除潛在產量和停機時間的流程監控機器。Vector Express是一種先進而可靠的蝕刻解決方案,它提供了更好的均勻性和可重復性,並為一系列蝕刻和灰燼應用提供了更高的吞吐量。其集成的模塊化體系結構可實現出色的過程控制,確保統一且可重復的結果。該工具可靠且易於使用,預裝了多種工藝配方,為蝕刻和灰分處理提供了更大的靈活性。其直觀的圖形編程和過程監控資產使其成為經濟高效的蝕刻和灰化解決方案的理想選擇。