二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293802072 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一種用於晶圓光刻的蝕刻/灰度設備。該系統與一系列標準光刻膠兼容，能夠支持多達五種不同的蝕刻工藝。NOVELLUS Vector Express專為晶圓紫外線曝光應用而設計，提供了卓越的進給速率、改進的均勻性和寬廣的操作窗口。這個單元有一個六場旋轉卡盤，工作與正負圖樣，允許單面和雙面蝕刻過程。它還具有多孔徑陣列,可在大面積上提供更高的曝光均勻性。其光場由紅色、綠色和藍色LED曝光源組成,可針對各種蝕刻工藝進行微調,以確保每個晶片的精度和質量。該機還具有先進的脈寬調制（PWM）控制器，有助於精確控制蝕刻速率。PWM控制器包括一個內置的診斷工具，可最大限度地縮短優化時間並提高產量。該資產支持用於快速批處理和配方召回的內存可編程過程。它還與DMD、DFB、ACORN、SMD等一系列流行的光刻模型控制器兼容。此外，LAM RESEARCH Vector Express采用自上而下的沈積工藝設計。這提供了更好的邊緣偏差控制、更高的吞吐量速率和改進的均勻性,從而提高了產量。該設備還具有多區氣體輸送系統，與其他光刻系統相比，該系統有助於優化光刻膠圖樣，並允許更快的工藝周期和更少的過度曝光。此外,Vector Express還具有先進的安全功能,可確保設備安全使用。它包括在處理晶片之前的兩級降壓和清除過程。在光刻工藝的所有階段都保持超高真空，並且其水冷掩模級始終可用於最大程度地減少晶片上的應力。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express憑借其強大而高效的光刻能力,是尋求生產高質量芯片和晶片的半導體制造商的理想解決方案。其擴展的功能集提供了支持各種蝕刻工藝所需的多功能性,其先進的安全功能使其易於使用,從而確保用戶始終完全控制其晶圓的生產。