二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293829992 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款為半導體器件制造而設計的高級蝕刻器/asher。它采用了領先的高密度、高生產率技術。通過提高利用率、可靠性和可維護性,該設備提供了精確度和準確性,同時降低了總擁有成本（TCO）。該系統采用易於維護的設計,采用模塊化組件,便於更換,並最大程度地減少了停機時間。NOVELLUS Vector Express包括多種定制工具，用於優化單元性能和提高產量。這包括執行模式處理和沈積處理的專門工具。該機還包括用於控制基板溫度和壓力的精密工具，可實現薄膜沈積和蝕刻工藝的均勻性和精確度。該工具基於先進的基於等離子體的蝕刻和通過蝕刻技術。它具有專有的Lam Process Convergence Control。這一特性將矢量跨導、能量控制和蝕刻速率控制算法結合在一個排氣資產中，允許優越的控制和均勻性，同時減少所需消耗品的數量。該模型還具有集成的負載鎖定功能,可快速、無縫地傳輸工藝基板。高速傳輸功能允許更快的吞吐量，可以減少產品周期中的周轉時間。LAM RESEARCH Vector Express的設計與廣泛的工藝化學體系兼容，使其非常適合各種應用。此外，該設備旨在與大多數電化學系統配合使用，並能夠與各種蝕刻化學裝置配合使用。該系統包括一系列安全特征，包括控制廢氣和蒸氣清除的預防措施。這樣可確保安全高效的蝕刻/通過環境。總體而言,Vector Express是一款高效可靠的蝕刻器/asher。它的模塊化設計使它們易於維護,而其先進的技術則支持高密度和高生產率的過程。該股還具有先進的安全功能，可防止揮發性氣體和化學品產生的危害。這使得它成為半導體器件制造的理想選擇。