二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742 待售
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ID: 9099742
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Type: Friction
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loader: Fixload 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N--2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
LF Fixed matcher: X
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 Controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC:
BROOKS SLA7950S
MFC 2 N2 10000
MFC C Ar 10000
MFC 5 He 20000
MFC 1 SiH4 1500
MFC B N2 20000
MFC 6 NH3 20000
MFC 9 NF3 10000
MFC 8 O2 30000
MFC A N2O (L) 1500
MFC 7 N2O (H) 25000
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Gauge tree
Power: 208 VAC, 3 Phase
Main 150A
Full load 100A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款用於微加工工藝的高性能蝕刻器和asher工具。它是一個多室系統，有八個獨立的室能夠同時執行多個過程步驟。NOVELLUS Vector Express是一個蝕刻介電、金屬、光刻膠、低k材料，以及縫隙填充和清潔應用的平臺。該蝕刻器具有較高的等離子體源功率（PSP） 1360W並行運行模式。這種高功率確保了高速蝕刻工藝的成功實現，並通過高通量技術滿足了微加工的需要。此外，高PSP有利於蝕刻敏感材料和難以蝕刻薄膜。此外，LAM RESEARCH Vector Express適用於由傳統材料和先進材料組成的多層堆棧的蝕刻。Vector Express通過其高效的冷卻系統進一步增強了靈活性,該系統允許其腔室在0-110°C範圍內運行。這樣可以確保幾乎所有材料的蝕刻,而不會損壞或降解基材。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector Express的溫控輥和卡盤提供均勻、精確的預熱基板，提供均勻蝕刻而不會出現圖樣失真。它在5秒內具有± 20°C的快速晶圓氣候變化，可以減少缺陷並提高電流產量。而且它的熱控精度也極佳，穩定率優於0.1°C。這使得NOVELLUS Vector Express成為成功蝕刻精美圖案和提高產量的理想選擇。LAM RESEARCH Vector Express也擁有高度的過程控制。其基於過程的界面被設計為讓用戶控制所有蝕刻參數，如等離子體強度、氣流、射頻頻率、壓力和冷卻機制。所有這些設置都可以從界面上輕松獲得,並且可以進行監控和調整以輕松微調蝕刻過程。總之，Vector Express是一種頂級的蝕刻器/asher工具，它為各種微加工材料的蝕刻提供了無與倫比的靈活性。由於其高效的溫度控制和較高的PSP功能,它非常適合蝕刻高長寬比特征和處理復雜的微觀模式。此外，其易於使用的基於過程的界面便於控制和監測所有蝕刻參數。所有這些功能使LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express成為那些希望執行高效、精確和高質量蝕刻和灰化操作的用戶的絕佳選擇。
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