二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612 待售
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單擊可縮放
ID: 9169612
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
Signal tower: Broken
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Friction type
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loaders: Fixload 6M
LL / FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: (10) Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM Type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N-2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
10 Torr process gauge
Vacuum switch
20 Torr switch
MFC:
BROOKS SLA7950S
N2A
N2B
Ar
He
SiH4
NH3
NF3
O2
N2O(L)
N2O(H)
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Right L/L top cooling
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Signal tower: Broken
Power:
208 VAC, 3 Phase
Main 150 A
Full load 100 A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高性能、高效的蝕刻設備，用於半導體及相關行業。設計為在高溫環境下，對石英晶片、矽基板等基板以及其他導電和非導電材料進行高精度、可靠、快速的蝕刻。NOVELLUS Vector Express能夠蝕刻高達1：25的長寬比,並提供高達1.5晶圓/分鐘的高吞吐量。LAM RESEARCH Vector Express利用多個高性能蝕刻室，每個室都有一個獨立控制的工藝室和專用抽水系統。該系統旨在減少沈積時間，最大限度地減少晶圓損傷，提供卓越的工藝均勻性。該單元還提供了對蝕刻過程的微調控制,從而可以精確控制關鍵特征。在每個蝕刻室中，機器采用多區域溫度和壓力控制，在每個室中創造一個一致的環境。該工具具有集成的加熱和冷卻功能,可實現高可靠性蝕刻。此外，蝕刻室利用專用氣體混合資產，精確地將氟基反應性氣體（例如SF6、NF3和CF4）註入蝕刻室，並進行精確和控制。Vector Express還采用了高級腔室阻抗控制（CIC）模型，該模型提供了一個均勻的等離子體，以提高蝕刻性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用先進的用戶友好和直觀的圖形界面,便於控制和程序開發。該設備還允許與所有標準蝕刻控制系統無縫集成,以實現最大的靈活性和生產率。它設計用於最小維護和正常運行時間,並通過SEMI安全標準認證,以實現最大的操作員安全性。NOVELLUS Vector Express能夠在多種材料和應用中產生出色的蝕刻質量和性能，使其成為大容量蝕刻應用的可靠高效選擇。它是一個快速且經濟高效的解決方案,提供卓越的可靠性、效率和統一性。
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