二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款蝕刻器/asher設備，專為大容量通量和高密度模式處理而設計。NOVELLUS Vector Express具有模塊化體系結構,可同時支持全區域和部分區域模式,提供高度的定制和靈活性。它旨在根據系統的配置,簡化和方便地調整工藝配方。LAM RESEARCH Vector Express具有大型中央處理單元、內存通道陣列和高精度直流電機驅動的Y軸分級單元。Y軸轉移機允許晶片在整個過程中精確移動,並能夠在過程區域內的任何位置移動晶片。該工具還包括高速計算機接口，允許從遠程位置監視和控制進程。Vector Express能夠處理具有高密度模式分辨率的450毫米晶圓。它還具有高精度的平面化控制資產以及高精度的視頻檢查系統。該型號的眾多傳感器提供實時監視和控制功能,使設備能夠以最低的停機時間和最高的效率達到高吞吐量水平。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express集成了一套綜合的軟件工具和軟件驅動的過程控制，如CDS（計算機定向調度）和SLE（軟件Led效率）。這些軟件工具使客戶能夠針對其生產需求優化系統,並將NOVELLUS Vector Express集成到其現有生產環境中。該單元能夠執行各種蝕刻和灰化工藝配方。這些配方可以針對各種蝕刻比例和基材保護要求進行優化。此外,LAM RESEARCH Vector Express允許客戶開發定制的蝕刻工藝以滿足特定的應用。該機器的蝕刻和灰化工藝旨在在質量和可持續性方面達到最高的行業標準。Vector Express AEC-Q100經過認證,表明其可靠性。該工具還符合環境保護署規定的揮發性有機化合物排放標準。總體而言,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是需要高速工藝吞吐量、高密度模式分辨率和質量、可定制配方的客戶的理想蝕刻器/粉碎器。它旨在提供精確可靠的蝕刻和灰化過程,同時減少停機時間並提高總體運行效率。